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真空鍍膜設(shè)備的選購要點及光密度在線測試儀怎么選擇?

來源:林上 發(fā)布時間:2019/05/23 16:08:00 瀏覽次數(shù):3438

鍍光學(xué)薄膜的真空鍍膜機可以安裝光密度在線測試儀,用來連續(xù)監(jiān)控鍍膜在線生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量.提高真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)線上的工作效率。

真空鍍膜設(shè)備主要由真空腔、抽氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)、成膜控制系統(tǒng)等組件構(gòu)成的。另外,鍍光學(xué)薄膜的真空鍍膜機還可以配置安裝光密度在線檢測系統(tǒng),林上生產(chǎn)的光密度在線測試儀LS152,是專業(yè)用于真空鍍鋁膜、真空磁控濺射鍍太陽膜等光學(xué)薄膜生產(chǎn)線上的在線檢測設(shè)備。

光密度在線測試儀

真空鍍膜設(shè)備被廣泛應(yīng)用于建材、五金、鐘表、光學(xué)、電子、玩具、汽車等行業(yè)上。尤其鍍制光學(xué)薄膜,被廣泛應(yīng)用到各光電系統(tǒng)及光學(xué)儀器中,如數(shù)碼相機、數(shù)碼攝像機、能量控制、光通訊、望遠(yuǎn)鏡、投影機、顯示技術(shù)、微機電系統(tǒng)、信息工業(yè)、激光的制作、照明工業(yè)、傳感器、建筑玻璃、汽車工業(yè)等等。

真空鍍膜設(shè)備的選購要點分析如下:

  1. 爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。

  2. 根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設(shè)備,其類型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應(yīng)濺射、離子鍍、多弧離子鍍等。

  3. 真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵、羅茨泵、油增壓泵、增擴泵、堝輪分子泵等以及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。

  4. 夾具運轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)以及公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)方式,用戶根據(jù)基片的尺寸和形狀提出相應(yīng)的要求,轉(zhuǎn)動的速度范圍及轉(zhuǎn)動精度:普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。

  5. 根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式,如電阻蒸發(fā)(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動、電動的引弧等),真空測量可選擇數(shù)字式智能真空計及其優(yōu)質(zhì)的測量規(guī)管,及其它測量儀器,如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀,透過率計等。

  6. 充氣方式可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計+針閥及相應(yīng)的充氣閥門,并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。

  7. 完善的報警系統(tǒng),對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負(fù)載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。

  8. 根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測量。

  9. 根據(jù)設(shè)備使用特點,可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。

由于鍍制光學(xué)薄膜最為廣泛,所以真空鍍膜設(shè)備適合選擇LS152真空鍍膜在線測厚儀,用來連續(xù)監(jiān)控鍍膜在線生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量。生產(chǎn)產(chǎn)品出來后通過光源探測光譜中薄膜的可見光透光率來判斷鍍膜厚度的均勻性。從而提高真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)線上的工作效率。

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